新硅碳流化床及硅氧专用设备
向多孔碳颗粒的孔隙里通入硅烷气体,通过加热使气体沉淀成硅纳米颗粒分散在多孔碳的孔隙里。多孔碳颗粒的尺寸一般在1到10um,孔隙里的硅颗粒尺寸一般在100nm以下。
处理材料:
硅碳、硅氧
行业:
汽车、新能源